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ものづくり事業(設計・製作(ODM)事業)

半導体製造装置の機械設計、及び制御開発事業

【ものづくり事業】では、半導体製造装置(露光装置)に絡む実機、及び試験機の機械設計、及び制御開発を行っております。
1.半導体製造装置の請負設計、並びに製作
2.半導体製造装置に関わる試験機(実験装置)の機械装置、制御ソフト、流体制御などの開発設計、並びに製作
3.顧客納入機の装置の改造、機械・制御ユニットの修復、並びに電子回路・基板の再生業務(ECP事業)

ものづくり事業開発事例

PWP
【PWP試験機】
液浸露光装置のノズルによるウェハに付着するパーティクルを評価するための装置です。

 

BPM
【BPM】
本試験機は、シリコンウェハの端面を自動で研磨する装置です。

給排水装置
【給排水装置】
本試験機は、ノズル部の各種実験、及び観察を目的とした装置です。

 

PHS1号機
【PHS1号機】
本試験機はスキャン耐性を評価する為の装置です。

電子回路・基板の再生業務
【電子回路・基板の再生業務】
再生業務は、既存の基板において部品の生産終了に伴い、生産終了部品を代替品に置き換え、電子回路等の再設計、並びに基板の設計(製作)を行うものです。